《科創板日報》8日訊,默克公司宣布與美光科技合作開發用于半導體工藝、能降低全球變暖趨勢的氣體解決方案。默克表示,經過一年的持續合作,美光科技目前正在測試默克研發部門提供的低GWP替代性蝕刻氣體,以驗證其制程性能,從而取代傳統的高GWP材料,目標在半導體制程中導入全新且更具可持續性的氣體解決方案。
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